產品詳情
簡單介紹:
這種雙軸數字水平儀(有線)是一種高精度且輕便的水平儀。與普通水平儀相比,它可以通過數字方式顯示,便于現場調整。此外,顯示屏和水平儀通過線連接,因此可以遠距離測量。由于重量輕便,可以在晶圓處理部件等敏感部位進行測量。氣泡會顯示在顯示器屏幕上,你可以像看氣泡水平儀一樣進行調整。由于它是數字顯示的,操作員讀取時不會有變化。使用SELN-011B,數據可以存儲在主機上,稍后用SD卡檢索,或者通過USB端口串行通信實時輸出數據并顯示到計算機上,便于存儲數據。
詳情介紹:
一、SELN-011B核心特點與優勢
雙軸高精度測量:X/Y 軸角度精度達 ±0.001°(17.5μm/m),零點重復精度≤±0.001°,分辨率 0.0002°,能精準捕捉微小傾斜,避免單軸反復調整誤差,保障測量結果可靠。
雙軸同步高效調平:支持 X/Y 軸同時檢測與調整,大幅縮短作業工時,減少調整步驟,統一作業者操作標準,降低人為誤差,提升批量設備調平的一致性。
狹窄空間適配強:傳感器尺寸僅 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g,可輕松對垂直間距狹窄的零件進行水平觀測,適配各類精密設備的復雜安裝環境。
數據存儲輸出便捷:具備角度數據文件存儲功能,支持 USB 實時外部輸出角度數據,方便后續數據追溯、分析與報表生成,適配自動化產線的質量管控需求。
操作友好適配廣:4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏操作直觀,可像看氣泡水平儀般調整;能設置合格角度范圍,初學者也可快速上手,支持 μm/m、°、°′″等多單位切換,工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃,防塵抗電磁干擾,適配工業復雜環境。
機身輕巧便攜:主機尺寸約 96×35×145mm,重 280g,電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節 AA 電池,使用靈活,便于現場移動作業。
二、SELN-011B主要技術參數
測量核心:X/Y 軸線性角度測量范圍均為 ±0.3°,測量分辨率 0.0002°,零點重復精度≤±0.001°,響應速度≤50ms,可快速捕捉傾斜變化。
數據處理與顯示:搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉換器,A/D 分辨率 0.000025°,顯示單位可切換 μm/m、角度(°、°′″),量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔,超量程(0.3° 及以上)會觸發 OVER 顯示。
尺寸與重量:傳感器尺寸 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g;主機尺寸約 96×35×145mm,重量 280g,便于狹小空間安裝與攜帶。
供電與環境:電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節 AA 電池,工作溫度 - 10℃至 + 50℃,適配工業常見工作環境,具備防塵與抗電磁干擾能力。
數據功能:支持角度數據存儲,可通過 USB 接口實時外部輸出數據,滿足數據記錄與追溯需求。
三、SELN-011B典型應用場景
半導體制造領域:用于光刻機、晶圓鍵合機、CMP 拋光平臺等設備的水平校準,保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率,數據存儲功能便于設備維護與歷史數據追溯。
精密加工設備:適配五軸加工中心、坐標測量機、光學平臺等,校準基準面水平度,保障加工精度,數據輸出可輔助設備狀態分析與預防性維護。
自動化產線與機器人:用于機器人關節、機械臂安裝基座的水平校準,適配狹小安裝空間,配合數據輸出功能,可實現產線設備水平狀態的批量監控與質量管控。
特種設備安裝與維護:如風力發電機組、衛星接收天線、大型精密儀器的安裝調試,通過數據存儲記錄安裝時的水平數據,便于后續維護對比,保障設備長期穩定運行。
精密儀器質檢:適用于各類精密檢測儀器的出廠水平校準與定期校驗,數據存儲可留存質檢記錄,滿足行業質量認證要求。
四、SELN-011B操作流程簡述
準備工作:選擇 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節 AA 電池供電,將傳感器通過有線連接主機,安裝 SVS 底座并平穩放置在待測量基準面,確保接觸面清潔無異物,避免影響測量精度。
設備初始化:開機后進入主界面,完成零點校準(將傳感器置于標準水平臺,長按零點校準鍵,待數值穩定后確認),切換顯示單位與量程檔位,設置合格角度范圍參數,開啟數據存儲或輸出功能。
水平測量與調整:觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實時傾斜數據,同步調節待校準設備的支撐結構,直至數值處于合格范圍內,期間實時查看數據變化,避免過度調整。
雙軸高精度測量:X/Y 軸角度精度達 ±0.001°(17.5μm/m),零點重復精度≤±0.001°,分辨率 0.0002°,能精準捕捉微小傾斜,避免單軸反復調整誤差,保障測量結果可靠。
雙軸同步高效調平:支持 X/Y 軸同時檢測與調整,大幅縮短作業工時,減少調整步驟,統一作業者操作標準,降低人為誤差,提升批量設備調平的一致性。
狹窄空間適配強:傳感器尺寸僅 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g,可輕松對垂直間距狹窄的零件進行水平觀測,適配各類精密設備的復雜安裝環境。
數據存儲輸出便捷:具備角度數據文件存儲功能,支持 USB 實時外部輸出角度數據,方便后續數據追溯、分析與報表生成,適配自動化產線的質量管控需求。
操作友好適配廣:4.3 英寸彩色 LCD 觸摸屏操作直觀,可像看氣泡水平儀般調整;能設置合格角度范圍,初學者也可快速上手,支持 μm/m、°、°′″等多單位切換,工作溫度范圍 - 10℃至 + 50℃,防塵抗電磁干擾,適配工業復雜環境。
機身輕巧便攜:主機尺寸約 96×35×145mm,重 280g,電源可選 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節 AA 電池,使用靈活,便于現場移動作業。
二、SELN-011B主要技術參數
測量核心:X/Y 軸線性角度測量范圍均為 ±0.3°,測量分辨率 0.0002°,零點重復精度≤±0.001°,響應速度≤50ms,可快速捕捉傾斜變化。
數據處理與顯示:搭載 32 位微處理器、14 位 A/D 轉換器,A/D 分辨率 0.000025°,顯示單位可切換 μm/m、角度(°、°′″),量程切換有 0.01/0.001/0.0001 三檔,超量程(0.3° 及以上)會觸發 OVER 顯示。
尺寸與重量:傳感器尺寸 Φ50×19mm,含 SVS 底座重 70g;主機尺寸約 96×35×145mm,重量 280g,便于狹小空間安裝與攜帶。
供電與環境:電源為 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節 AA 電池,工作溫度 - 10℃至 + 50℃,適配工業常見工作環境,具備防塵與抗電磁干擾能力。
數據功能:支持角度數據存儲,可通過 USB 接口實時外部輸出數據,滿足數據記錄與追溯需求。
三、SELN-011B典型應用場景
半導體制造領域:用于光刻機、晶圓鍵合機、CMP 拋光平臺等設備的水平校準,保證晶圓刻蝕、光刻等工序的芯片良率,數據存儲功能便于設備維護與歷史數據追溯。
精密加工設備:適配五軸加工中心、坐標測量機、光學平臺等,校準基準面水平度,保障加工精度,數據輸出可輔助設備狀態分析與預防性維護。
自動化產線與機器人:用于機器人關節、機械臂安裝基座的水平校準,適配狹小安裝空間,配合數據輸出功能,可實現產線設備水平狀態的批量監控與質量管控。
特種設備安裝與維護:如風力發電機組、衛星接收天線、大型精密儀器的安裝調試,通過數據存儲記錄安裝時的水平數據,便于后續維護對比,保障設備長期穩定運行。
精密儀器質檢:適用于各類精密檢測儀器的出廠水平校準與定期校驗,數據存儲可留存質檢記錄,滿足行業質量認證要求。
四、SELN-011B操作流程簡述
準備工作:選擇 DC6V 專用 AC 適配器或 4 節 AA 電池供電,將傳感器通過有線連接主機,安裝 SVS 底座并平穩放置在待測量基準面,確保接觸面清潔無異物,避免影響測量精度。
設備初始化:開機后進入主界面,完成零點校準(將傳感器置于標準水平臺,長按零點校準鍵,待數值穩定后確認),切換顯示單位與量程檔位,設置合格角度范圍參數,開啟數據存儲或輸出功能。
水平測量與調整:觀察觸摸屏上 X/Y 軸的實時傾斜數據,同步調節待校準設備的支撐結構,直至數值處于合格范圍內,期間實時查看數據變化,避免過度調整。
數據記錄與收尾:測量達標后,通過 USB 接口導出數據用于追溯;測量結束后關機,取下傳感器與主機,做好清潔收納,長期不用時取出電池,避免設備損壞。
監控詳情
規格
| 物品 | 目錄 | |
|---|---|---|
| 傳感器部門 | 線性 - 角度 | X方向±0.3度Y,±0.3度 |
| 測量分辨率 | 0.0002度 | |
| 零點重復性 | ±小于0.001度 | |
| 響應速度 | 不到50毫秒 | |
| 服務溫度 | -10°C~+50°C | |
| 身體部位 | 微控制器 | 32位 |
| A/D部門 | 14位 | |
| 測量范圍 | ±0.3度 | |
| A/D 分辨率 | 0.000025 deg | |
| 展示單元 | 0.0001 度 | |
| 傳球范圍設定范圍 | 0.0001 度 | |
| 范圍切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
| OVER 表示 | 0.3度或更高 | |
| 特色 | 傳感器連接數量 | 1 ch |
| 展示部門 | 4.3英寸彩色LCD觸摸面板 | |
| 480×272個點 | ||
| 測量數據 | 保存到文件 | |
| (*多15個文件,120分/文件) | ||
| 外部數據輸出功能(SELN-011B→microSD) | ||
| 實時輸出USB | ||
| 電源 | 專用交流適配器 DC6V/2A | |
| 4節AA電池(1.5伏) | ||
| 尺寸 | 監視器 | W96×D35×H145毫米 |
| 傳感器(基于 SUS) | φ50×H19 mm | |
| 電纜 | 2米 | |
| 重量 | 監視器 | 392克 |
| 傳感器 | 70克 | |
| 配件 | 4節AA電池(1.5伏) | |
| 專用交流適配器 DC6V/2A | ||
| 說明書 | ||
| 保修卡 |